0190-26769 AMAT UNIVERSAL TRIPLE GAUGE

Keterangan:

AMAT 0190-26769 adalah pengukur vakum presisi tinggi yang diproduksi khusus untuk digunakan dalam peralatan pemrosesan semikonduktor Applied Materials (AMAT). Dalam industri semikonduktor, kontrol vakum yang presisi sangat penting untuk berbagai langkah fabrikasi, termasuk deposisi, etsa, dan implantasi ion. 

Nomor komponen khusus ini menunjukkan bahwa komponen ini merupakan bagian integral dari pemeliharaan dan pemantauan lingkungan vakum di dalam ruang proses kompleks AMAT. Meskipun teknologi yang tepat (misalnya, Pirani, katoda dingin, pengukur diafragma kapasitansi) tidak ditentukan hanya oleh nomor komponen, komponen ini dirancang untuk memberikan pengukuran tekanan yang andal dan akurat di seluruh rentang vakum spesifik yang relevan dengan manufaktur semikonduktor.

Fitur:

Mampu melaporkan perubahan tekanan dengan cepat dan akurat, memungkinkan kontrol vakum dinamis dan penyesuaian proses yang cepat.

 Sebagai komponen khusus AMAT, komponen ini dirancang untuk kompatibilitas langsung dan integrasi yang mudah ke dalam perangkat dan sistem kontrol AMAT yang sudah ada. Hal ini memastikan komunikasi, pelaporan data, dan fungsionalitas sistem secara keseluruhan yang lancar tanpa masalah kompatibilitas.

Dibangun dengan bahan dan proses manufaktur berkualitas tinggi untuk menahan kondisi keras di dalam ruang proses semikonduktor, termasuk paparan gas proses agresif dan plasma.